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    目前用于超高真空測量幾乎都釆用相對規(guī)測量原理,儀器包括測量規(guī)和測量線  路,測量規(guī)和真空系統(tǒng)連接,規(guī)工作的各級電壓由測量電路給出,與壓力有關的電  信號通過放大及處理并以壓力形式給出。最常用的全壓力測量計有BA型及其他  類型的熱陰極超高真空電離計、冷陰極正磁控管型真空計和反磁控管型真空計。為  了滿足超高真空測量的特殊要求,在測量儀器選擇、規(guī)的安裝和正確使用等方面應  注意下面幾個問題。  ①測量計的選擇。儀器的壓力測量范圍應滿足真空系統(tǒng)壓力測量要求,特別  要求儀器的測量下限應低于系統(tǒng)的測量指標要求。在下限測量中,儀器必須具有  定的測量精度和測量不確定度  ②測量規(guī)在工作中不應對真空獲得帶來嚴重影響,特別應考慮燈絲出氣、燈  絲在高溫條件下對氣體組分的改變等因素,最好選用低溫燈絲  ③為了真實反映被測處的壓力,壓力規(guī)的安裝應盡量接近壓力被測量處,選  擇直徑大的短管道連接,有條件情況下可選用裸規(guī)。  ④壓力規(guī)應能滿足超高真空系統(tǒng)的高溫烘烤要求  ⑤減小被測系統(tǒng)對規(guī)管測量帶來的影響如:熱輻射、離子擴散、電磁干擾等
⑥在被測壓力連續(xù)測量條件下,壓力規(guī)具有較長的壽命。  ⑦在極高真空系統(tǒng)運行過程中,應正確使用測量規(guī),避免規(guī)的出氣影響系統(tǒng)  的真空獲得  此外,為了提高測量的準確性,必須對超高真空計進行校準。校準在專用的極  高/超高真空校準系統(tǒng)上進行,校準系統(tǒng)的極限壓力應滿足校準要求,低于被校規(guī)  的測量下限。利用動態(tài)直接比對法進行壓力相對校準,校準范圍為10-5~10-7Pa,  利用分流法、壓力衰減等方法實現(xiàn)絕對校準,校準范圍為10-4~10-9Pa。