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 氣體種類對真空測量的影響  (1)氣體種類對測量讀數(shù)的影響。  對于彈性元件真空計和電容薄膜真空計等直接測量真空計,其測量結(jié)果為氣體和蒸汽的全  壓力,且與氣體種類無關(guān)。而對于熱傳導(dǎo)真空計和電離真空計等間接測量真空計,其測量結(jié)果  與氣體種類及組分有關(guān),因此對其讀數(shù)需要考慮加以修正。  如果被測氣體是氮?dú)狻⒍栊詺怏w或較為純凈的空氣,那還比較簡單,因?yàn)槠胀ㄕ婵沼嫵鰪S  前都是以此為基準(zhǔn)標(biāo)定的,實(shí)際測量的讀數(shù)值就是其真實(shí)壓力值。但在許多情況下,被測氣體  往往是空氣、特殊的工藝放氣、水蒸氣、油蒸氣等多種氣體和蒸汽的不同組合,從而會影響相  對真空計的測量結(jié)果。因此,通常引入相對靈敏度S的概念,針對不同氣體加以修正。  對于熱傳導(dǎo)真空計,某種被測氣體的真實(shí)壓力與真空計讀數(shù)壓力間的關(guān)系按式(1014)計算,  其中熱傳導(dǎo)真空計的相對靈敏度S對于各種氣體的取值見表103。對于電離真空計,則應(yīng)按式  (10-18)計算,其中電離真空計的相對靈敏度S對于各種氣體的取值見表104。  (2)氣體種類對真空規(guī)的影響。  被測氣體中的各種蒸氣,還會對真空規(guī)造成影響,其中尤以氧氣、水蒸氣、油蒸氣等組分  對真空計的影響嚴(yán)重。采用電阻真空計測量時,氧氣和水蒸氣會氧化規(guī)管熱絲,改變熱絲的表  面狀態(tài);油蒸氣附在規(guī)管的熱絲和管壁上,會改變表面性能,因此都將引起規(guī)管零點(diǎn)漂移和靈
敏度的改變,導(dǎo)致讀數(shù)不準(zhǔn)。采用高壓力熱陰極電離真空計測量時,氧氣和水蒸氣會明顯損耗  規(guī)管的熱陰極:油蒸氣在高溫陰極表面或電子轟擊下分解生成的碳?xì)浠衔?會污染電極和規(guī)  管壁,使規(guī)管靈敏度和特性發(fā)生明顯的變化因此在粗低真空區(qū),測氧氣、蒸氣或賽氣  的壓力,通常采用電容式薄膜真空計