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   低溫泵的抽速曲線與一般真空泵抽速曲線不同,低溫泵在高壓力區(qū)的抽速大于在低壓力區(qū)  域的抽速,低溫泵冷凝吸附不同的氣體時(shí),其抽速特性曲線是不同的,而且實(shí)測(cè)表明其不同溫  度下的吸附等溫線也不同,趨勢(shì)類似,但斜率不同。

圖910是 Dawson和 Haygood測(cè)得的室溫下  CO2在77K低溫冷面上凝結(jié)的典型抽速曲線,可  對(duì)其解釋如下  三
開(kāi)始抽氣時(shí),泵人口壓力較高,氣流量超過(guò)  泵的低溫冷凝能力,而且由于氣體的熱傳導(dǎo)和對(duì)  流傳熱效應(yīng)較強(qiáng),使冷凝層表面溫度上升,吸附  幾率(凝結(jié)系數(shù))較低,并且非凝結(jié)性氣體在冷  10

壓力Pa
0凝板附近堆積,對(duì)被抽氣體形成阻擋層,可凝性  氣體必須經(jīng)過(guò)碰撞才能通過(guò)阻擋層凝結(jié)在冷凝板  上,此時(shí)氣體分子在冷凝表面(或阻擋層)上的  圖910典型抽速曲線(O2在  77K冷面上凝結(jié))
反射數(shù)量(N)較大;所以使抽速較低。  隨著壓力逐漸降低,冷板溫度趨于穩(wěn)定,氣體分子的反射量下降,被冷凝吸附的氣體分子  數(shù)量逐漸上升,即抽速增加。直到某一最大(臨界)值。此后,雖然隨著氣體壓力的降低,氣  體反射量繼續(xù)降低,但是因?yàn)槲嚼淠龑又欣淠臍怏w重新蒸發(fā)的數(shù)量增加,而且因壓力降  低,單位時(shí)間內(nèi)碰撞到冷凝表面上的氣體分子數(shù)量下降,使得重新蒸發(fā)的氣體分子數(shù)量大于反  射量減少的數(shù)量,所以S下降。在分子流狀態(tài)下,冷板的吸附能力遠(yuǎn)大于碰撞到冷板上的氣體  分子數(shù)量,泵冷板面積一定,抽速一定,與壓力無(wú)關(guān)(見(jiàn)公式14-1)。直到極限壓力下(容器  內(nèi)的壓力與凝結(jié)物的蒸發(fā)壓力平衡時(shí)),冷凝吸附的氣體數(shù)量與從冷凝層蒸發(fā)的氣體數(shù)量相等,