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  全無油抽氣系統(tǒng),濺射離子泵是最常見一種,它與前面介紹的幾種抽氣系統(tǒng)最
大的區(qū)別是除了粗抽階段之外,正常運(yùn)轉(zhuǎn)期間,被抽氣體沒有排到大氣中去,而是  貯存在泵內(nèi)的鈦膜中。操作簡(jiǎn)便、無振動(dòng)噪聲、無重碳?xì)浠衔镂廴?若粗抽時(shí)采  用吸附泵或無油機(jī)械泵,不存在粗抽泵的污染問題,工作時(shí)無需前級(jí)泵,在超高真  空條件下甚至不需要夜間值班人員就能長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),因而廣泛用于潔凈的小型超  高真空裝置中。它的主要問題是抽氣容量問題,由于氣體是以吸附在鈦膜內(nèi)方式  理論上泵的壽命與工作壓力成反比,因此它的長(zhǎng)期工作壓力越低,壽命越長(zhǎng),工作  在102Pa的壽命是10-4Pa的壽命的百分之一。其次是泵的磁場(chǎng)問題,需要用于  對(duì)磁場(chǎng)有限制的場(chǎng)所,就需要對(duì)其磁場(chǎng)進(jìn)行屏蔽  圖5-24所示為用于表面研究的濺射離子泵吸附泵組成的無油超高真空系統(tǒng)  為了彌補(bǔ)濺射離子泵的抽速小、容量有限的缺點(diǎn),采用濺射離子泵與鈦升華泵組成  抽氣機(jī)組。主泵是鈦升華泵,吸氣面用液氮冷卻,鈦升華泵可直接裝在真空室內(nèi)  也可以像圖中所示的將鈦升華泵與濺射離子泵并聯(lián)(或串聯(lián))在一起。真空室1  不銹鋼制成,直徑450mm,高700mm,容積100L,法蘭采用銅墊圈密封,粗抽  三個(gè)分子篩泵及無油機(jī)械泵。系統(tǒng)用無油機(jī)械泵從大氣抽到10~100Pa,然后啟  分子篩吸附泵預(yù)抽,這種方法比較經(jīng)濟(jì),并且能夠極大地縮短預(yù)抽時(shí)間。也可以  用分子篩泵直接從大氣預(yù)抽,但是需要更大容量的吸附泵,還需要采用二級(jí)或三  吸附抽氣。二級(jí)吸附抽氣方法是先用一級(jí)從大氣粗抽到100Pa,關(guān)閉一級(jí)吸附  再用二級(jí)泵抽到0.4~0.2Pa。三級(jí)吸附抽氣是第一級(jí)抽到3000~5000Pa,第二
抽到15Pa,第三級(jí)抽到0.1Pa。通常當(dāng)真空室達(dá)到時(shí)5×10-1Pa就可以關(guān)閉分子  篩吸附泵啟動(dòng)鈦升華泵,當(dāng)真空室壓力降低到5×10-2Pa時(shí)就可以啟動(dòng)濺射離子  泵。當(dāng)接通濺射離子泵電源時(shí),由于泵內(nèi)鈦陰極板受到離子轟擊出氣,系統(tǒng)壓力會(huì)  升高,此時(shí)用鈦升華泵和分子篩吸附泵繼續(xù)抽氣,直到壓力降低到5×10-2Pa。如  果氣量較大,短時(shí)間不能降低到濺射離子泵正常工作的啟動(dòng)壓力,為了防止離子泵  過熱,就需要關(guān)掉濺射離子泵,等到壓力降低以后再次反復(fù)接通和關(guān)閉濺射離子泵  電源(每次約5min),直到離子泵的電壓降低到2000V左右,才可以關(guān)掉分子篩  和鈦升華泵,讓濺射離子泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)。  在鈦泵工作期間,可根據(jù)氣體流量采用連續(xù)蒸發(fā)或斷續(xù)蒸發(fā),一般說來,高壓  力下需要連續(xù)蒸發(fā),低壓下可以斷續(xù)蒸發(fā),隨著壓力降低,斷續(xù)蒸發(fā)時(shí)間間隔可以  不斷加長(zhǎng),直至關(guān)閉鈦泵,讓濺射離子泵單獨(dú)工作。根據(jù)工藝流程中的工作壓力盡  可能讓離子泵工作在超高真空壓力下,這樣能夠大大延長(zhǎng)離子泵的使用壽命。  升華鈦泵和分子篩吸附泵操作復(fù)雜,故障率高,還需要具備液氮條件。粗抽系  統(tǒng)改用無油的干式機(jī)械泵(爪式機(jī)械泵、碳旋片機(jī)械泵)和無油分子泵(氣浮或磁  浮分子泵)是解決無油粗抽的最有效途徑  圖中的真空系統(tǒng)典型的運(yùn)轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)為:真空室200℃下烘烤3.5h,溫度降低到室  溫后容器的真空度為10Pa,抽氣30h后達(dá)到的極限壓力小于1×10-8