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 溫度對(duì)真空測(cè)量  的色直空規(guī)管實(shí)際使用溫度與出廠校準(zhǔn)溫度不相同,規(guī)管溫度與被測(cè)系統(tǒng)溫度不同,被測(cè)系  溫度不均勻或變化,均會(huì)引起被測(cè)系統(tǒng)中氣體溫度變化,影響真空測(cè)量結(jié)果,引進(jìn)測(cè)量誤差  至發(fā)生明顯錯(cuò)誤。設(shè)規(guī)管出廠校準(zhǔn)時(shí)的溫度為T。(一般為293K),規(guī)管現(xiàn)場(chǎng)使用溫度為T1  (單位為K),規(guī)管的讀數(shù)壓力值為pm(單位為Pa),對(duì)應(yīng)氣體的真實(shí)壓力和氣體分子數(shù)密度  分別為戶和m(單位為m-3),此時(shí)被測(cè)真空系統(tǒng)中的溫度為T2,氣體壓力和分子密度為p  和n。在不同的壓力范圍內(nèi),可以按以下公式進(jìn)行修正。  (1)高壓力(A<d)時(shí),系統(tǒng)平衡條件是各處壓力相等,即

(10-45  采用直接測(cè)壓力的直接測(cè)量真空計(jì)時(shí),規(guī)管溫度、被測(cè)系統(tǒng)溫度及規(guī)管校準(zhǔn)溫度各不相同  不引起誤差,p1=Pm,不需要修正。而采用測(cè)密度的間接測(cè)量真空計(jì)(熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離  必須修正到校準(zhǔn)溫度。  真空計(jì))測(cè)

(10-46)  (2)低壓力(X>d)時(shí),系統(tǒng)平衡時(shí)兩處的壓力和密度都不相等,而是

p  用測(cè)壓力的直接測(cè)量真空計(jì)測(cè)量時(shí),p=pm,并按上式進(jìn)行修正。用測(cè)密度的間接測(cè)量

10-47)  真空計(jì)測(cè)量時(shí),則要修正到標(biāo)準(zhǔn)溫度,此時(shí)有

TPm和P2

(10-48)  (3)中等壓力~d時(shí),p/Pp2的值處于1和√T1/T2值之間。壓力愈低,會(huì)近