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正宇真空設(shè)備
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渦輪泵分子泵抽氣機(jī)組 圖3-24給出的是一個(gè)在真空室和分子泵之間設(shè)有閥門(mén)、冷阱的超高真空系統(tǒng),其粗抽 管道和前級(jí)管道與圖3-23擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)相同。分子泵的前級(jí)泵大小的要求卻和擴(kuò)散泵不 同。擴(kuò)散泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)要求前級(jí)泵具有足夠大的抽速,在最大排氣量時(shí)確保前級(jí)壓強(qiáng)低于擴(kuò) 散泵臨界前級(jí)壓力。渦輪分子泵則要求選擇具有足夠容量的前級(jí)泵,使最靠近前級(jí)管道的葉 片在最大排氣量時(shí)處于分子流或者正好處于過(guò)渡流。大多數(shù)分子泵的最大穩(wěn)態(tài)進(jìn)氣口壓力 p約為0.5~1Pa,最大前級(jí)壓力P前約為30Pa,所以分子泵在最大排氣量時(shí)的壓縮比 (pm/p人)或前級(jí)泵的抽速與分子泵抽速之比(S/S人)在30~60之間。要求前級(jí)管道氫 分壓小的系統(tǒng),配置的抽速比應(yīng)為20:1。
南國(guó)
渦輪分子泵對(duì)油脂一類(lèi)大分子的壓縮比較高,屬于較清潔的真空泵(又稱(chēng)半無(wú)油泵), 不需要液氮冷阱阻止軸承潤(rùn)滑油或機(jī)械泵泵液的返流。圖中裝在真空室和分子泵之間的液氮 阱的主要用途是提高系統(tǒng)對(duì)水蒸氣的抽速,可以縮短烘烤去氣時(shí)間。相同的道理,渦輪分子 泵抽氣系統(tǒng)不需要粗抽阱和前級(jí)管道冷阱,粗抽時(shí)需要采用100~1050Pa的切換壓力,就 能有效防止機(jī)械泵油通過(guò)粗抽管道遷移到真空室中去 渦輪分子泵對(duì)氫的壓縮比和前級(jí)氫分壓是影響極限壓力的重要原因之一。降低前級(jí)氫分
壓,能夠提高渦輪分子泵的極限壓力。高壓縮比的渦輪分子泵,用兩級(jí)旋片機(jī)械泵作前級(jí) 極限壓力約為5×10-9Pa,用擴(kuò)散泵作前級(jí)時(shí),可提高到1×10-9Pa,在真空室與分子泵之 間增加一個(gè)鈦吸附阱或液氮分子篩吸附阱,其極限壓力可低于10-9Pa 用于大流量的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng),如刻蝕機(jī)等需要抽除放入的大量工藝用氣體,當(dāng)進(jìn) 口壓力過(guò)高時(shí),氣流的摩擦阻力會(huì)使轉(zhuǎn)速變慢,將使對(duì)氫的壓縮比迅速降低。圖325是 Hanlon給出的一臺(tái)前級(jí)泵35m3/h,巴爾蔡斯公司抽速400L/s分子泵進(jìn)口壓力與抽速的實(shí) 驗(yàn)曲線(xiàn)。入口壓力增大到0.9Pa時(shí),曲線(xiàn)出現(xiàn)拐點(diǎn),采用較大的前級(jí)泵,曲線(xiàn)A段將向右 移動(dòng),反之將向左移動(dòng)。避免抽速下降的方法是在泵入口處設(shè)置限流閥,根據(jù)抽氣流量不變 原理,讓真空室維持需要的工藝壓力的同時(shí),分子泵仍處于全速運(yùn)轉(zhuǎn)的低壓狀態(tài)
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