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  20K的低溫表面黏的活性炭能有效地冷凝吸附氫、氖  氣容量很小,需要抽除大量氮?dú)獾牡蜏乇?應(yīng)該使用4.2K的液氮低溫泵,不能用  氣氮低溫泵,液氮低溫泵還具有無振動(dòng),無磁場的突出優(yōu)點(diǎn),可用于與化學(xué)分析電  子能儀或二次離子質(zhì)諧儀一類的靈敏的表面分析設(shè)備。氣體制冷機(jī)低溫泵的活塞  運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的輕微振動(dòng)會(huì)影響這種設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn),因此,用氣體制冷機(jī)時(shí),必須采
當(dāng)代小型劇冷機(jī)低溫泵的應(yīng)用,日益受到重視,這是由于它具有以下突出  用有效的防振措施

優(yōu)點(diǎn)  ①制冷機(jī)低溫泵的制冷系統(tǒng)可以長期運(yùn)轉(zhuǎn),因而能實(shí)現(xiàn)抽氣系統(tǒng)完全的自

動(dòng)化  ②與濺射離子泵一樣能實(shí)現(xiàn)絕對無油(無碳?xì)浠衔?的“清潔”真空,工作壓力范圍和抽氣能力遠(yuǎn)大于濺射離子泵  ③同樣口徑的抽氣系統(tǒng)中,它的抽速系數(shù)是所有泵中最大的。特別是沒有泵  殼的裸體制冷機(jī)低溫泵能直接插入真空容器內(nèi),不受抽氣管道流導(dǎo)的影響  ④抽速大于10000L/s的真空抽氣系統(tǒng),其投資、運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用均比帶有液氮冷阱

的擴(kuò)散泵要低。  ⑤制冷機(jī)低溫泵的體積和重量都較小,并且不受安裝方向的限制。運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性不亞于擴(kuò)散泵  由于小型制冷機(jī)低溫泵對H2、Ne、He的抽氣容量有限,在某些應(yīng)用中例如真空鍍膜生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的H2可能影響它的運(yùn)轉(zhuǎn)周期。此外,盡量不用于抽除大量氬氣,若用于抽除大量氬氣時(shí),應(yīng)采用至少二次光學(xué)屏蔽的80K擋板用以冷凝大量氬氣,減少氬氣進(jìn)入20K低溫板上吸附劑的概率。否則氬氣會(huì)在吸附劑的微孔表面凝結(jié)成固態(tài)氬,一旦吸氣劑表面覆蓋一層固態(tài)氬,就只有靠固態(tài)氬霜捕集氫、氮,當(dāng)氬霜的溫度高于20K時(shí),氬霜就不能捕集氫,必須對低溫泵進(jìn)行再生,才能恢復(fù)泵的抽氣性能。