4維修資訊
您的位置:
首頁 ->
維修資訊 -> 小型制冷機低溫系統(tǒng)簡介 小型制冷機低溫泵的啟動壓力受制冷功率限制,不能在大氣壓下工作,可根據 對真空清潔程度的要求,將系統(tǒng)壓力粗抽到100-101a即可啟動制冷機壓縮機 達到規(guī)定的制冷時間后即可關閉前級粗抽閥門停止粗抽,打開高真空閥切換到低溫 泵抽氣。低溫泵進氣口允許的最高壓力稱為轉換壓力(與二級冷頭制冷功率和被抽 容器體積有關),應按照廠家給出的轉換壓力進行操作,過高的轉換壓力會影響制冷機低溫泵的正常工作 小型制冷機低溫泵與濺射離子泵相比,啟動容易,能抽除大量氫氣,不存在高的往復運動,會引起輕酸的振動,系統(tǒng)配置電子能諧儀、二次離子諧儀和其他表面分析儀時,需要采用有效的減振措施 低溫泵進氣口冷板溫度遠低于真空容器的壁溫,這種溫度場對泵口附近的氣體 分子的空間分布有明顯的改變,會影響真空計的測量精度,嚴重時誤差接近一倍之 多。同理,不同溫度表面蒸發(fā)出的分子速度不同,待別是低溫面較大的系統(tǒng)(如空 間環(huán)模設備)很難闡述系統(tǒng)中壓力的確切意義,這是在進行表面分析研究時需要特別關切的問題
低溫泵另一問題是制冷機能力有限,容易受長波紅外線的輻射影響,試件或生 產工藝用加熱器進行加熱時,對低溫表而需設計熱屏蔽(如泵口加裝水冷擋板等)要求熱屏蔽的設計既要具有良好的屏蔽效果又要不使泵的抽速過度降低
使用小型制冷機低溫泵最值得注意的問題是停止泵運轉時的安全問題。整個運轉期間所抽除的氣體都被冷凝吸附在泵內,停止運轉后隨著低溫板的升溫,被抽氣體將全部釋放出來,形成的高壓氣體一旦超過泵體的機械強度,可能發(fā)生爆炸事故。對于小型的超高真空系統(tǒng),運轉時間很短,抽出的氣量很少,所有的氣量都不足以形成高于大氣壓,停泵后可以不用前級泵將釋放的氣體抽除,等下次啟動低溫泵時再預抽釋放的氣體。如果抽氣時間很長,抽氣量很大,停泵時必須打開前級泵抽除釋放的氣體,直到二極冷頭升溫到安全溫度,才能全部停掉抽氣系統(tǒng)。不論何種情況,都要經常檢查維修過壓安全閥,一且釋放的氣壓過高,能夠自動排向大氣,確保泵體安全。
另一個安全問題是不能用低溫泵抽除像H2、O2混合的危險氣體或SiH4這種自燃氣體,否則會存在爆炸安全隱患。最好安裝能將低溫泵釋放的氣體排出室外的排氣管道,作為安全防護的第二道防線
正宇真空設備zhengyu Vacuum equipment