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維修資訊 -> 氦質譜檢漏儀的靈敏度是怎么樣的？ 化征氮質譜檢漏儀性能的主要指標是它的漏率 度qmn(即最小可檢漏率)和分壓比靈敏度 (亦即最小可檢分壓比),這是兩個在氮質譜檢 儀出廠校準時所規(guī)定的最佳條件下所能實現(xiàn)的儀 圖1124氮質謂檢漏儀在
輔助真空系統(tǒng)中的位置 器靈敏度。但是在利用氨質譜檢漏儀進行具體的檢1一噴;2一被檢件3一高真空:4一擴就 麗時,由于諸多具體條件的不同,因此儀器所能達 6一前級真空容器1G一低真空
到的靈敏度與其在最佳條件下所測得的靈敏度是不 前級泵:8一檢漏僅
會相同的。通常把儀器在使用時所能達到靈敏度稱為儀器的檢漏靈敏度,該靈敏度是低于僅器 校準時所給出的靈敏度的 氨質譜檢漏儀的漏率靈敏度,或稱最小可檢漏率,記作9m,它是指檢漏僅處于最佳工 作條件下,以一個標準大氣壓的純氫氣為示漏氣體,進行動態(tài)檢漏時,所能檢出的最小漏孔的 漏率。這里所說的最佳條件,就是被檢件出氣很少且沒有大漏孔,儀器本身的工作參數(shù)調整到 最佳工作狀態(tài)的條件。即儀器節(jié)流閥完全開啟,質譜室內為最佳工作壓力,沒有軸助真空系統(tǒng) 分流,儀器本底和噪聲最小,放大器放大倍數(shù)最大,發(fā)射電流和加速電壓穩(wěn)定,工作壓力穩(wěn)定 以及氮峰準確等。而動態(tài)檢漏則是指檢漏時儀器內部真空系統(tǒng)仍然在正常抽氣(不是累計法檢 漏),而且當真空系統(tǒng)在時間常數(shù)不大于1s的條件下,儀器的反應時間不大于3s時所進行的 檢漏。最小可檢漏率,則是指儀器輸出表上可以觀察出來的最小的指示變化,該變化主要受無 規(guī)律起伏變化的噪聲所限制。儀器的噪聲是由于各種參數(shù)不穩(wěn)定而引起的,外電源電壓波動 真空度變化、發(fā)射電流變化、加速電壓變化、放大器性能變化及外界電磁場干擾等都會引起輸 出儀表的不穩(wěn)定擺動。如果漏入的氮氣使輸出儀表的變化值小于噪聲,那么我們就很難判斷究 竟是漏氣信號還是噪聲,因此,嗓聲的大小也就成為能否判斷漏氣信號的標準。所以,這里所 指的“最小可檢漏率”是指引起輸出指示的變化量等于二倍(也有規(guī)定為一倍)噪聲所對應的 漏率值。因此,檢漏時應盡量采取措施降低儀器噪聲,以利最小可檢漏率。 在檢漏儀質譜室處于工作壓力下,儀器可檢出的氦分壓比的最小變化量稱為分壓比靈 度,亦稱為最小可檢分壓比,記作Ymn 氦質譜檢漏儀在實際檢漏條件下所能達到的靈敏度稱作檢漏靈敏度。由于檢漏時保證不 校準儀器時所規(guī)
正宇真空設備zhengyu Vacuum equipment