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電源和控制系統(tǒng)  離子束刻蝕機的電源和控制系統(tǒng)包括離子源電源、工件臺電源、工件臺步進電動機驅(qū)動  器(用于平移工件臺)和力矩電動機驅(qū)動電源(用于旋轉(zhuǎn)工件臺)、快門時間控制器及主機  電控部分。  ①離子源電源離子源電源由陰極、陽極、屏柵極、加速極和中和器等五部分組成  其技術(shù)指標(biāo)見表1-3

當(dāng)前,陰極電源是通過運算放大器XFC75調(diào)節(jié),釆樣屏柵極電流進行負反饋控制。陽  極電源則通過運算放大器XFC75調(diào)節(jié),采樣自身電流進行負反饋控制;屏柵極和加速極電  源均采用減速電動機調(diào)控、高壓二極管整流、阻容π型濾波輸出。  中和器電源由中和與耦合兩臺電源組成。中和電源通過運算放大器MCl458調(diào)節(jié),采  樣耦合電流控制。耦合電源系三極管整流,π型濾波輸出。它的輸出負端接于中和器陰極輸  出端,正端接地

快門時間控翻器千電兩用四H聯(lián)動的單時月結(jié)構(gòu)快門用aLsK2m3、LsK3  F到鼓設(shè)備1國快門電線圓由固定的30V電國驅(qū)動,快門動作方向由隱電  器)和Jm觸點行切換面沒變,由于快門的開關(guān)動作要在幾秒鐘之內(nèi)完成,加上電  線的安阻數(shù)大,導(dǎo)線,為不使線圈發(fā)熱,電磁鐵的俱電電路設(shè)計了5s延時通電  電,在保證快門動作完成后,將電線圈斷電,這個電路由BG3、J、BCa、J等元  件組成,快門時間控制四分手控和計算機控制的束控兩種控制方式,手控時將通過計  n機以及由差動式比較器BC07連接成的窗口鑒別器送出的信號電壓控制BG1和B  ③主機電控系統(tǒng)離子束刻蝕的主機電控系貌由控制變壓器,壓力繼電器,熱繼電器  的基級控制快門的開和關(guān)  半導(dǎo)體時間繼電器、中間繼電器、交流接觸器、螺旋式焰斷器、訊響器、開關(guān)、插座、信號  燈等組成,位于主機機柜中,保證機械泵、擴散泵、電磁帶放氣真空閥、插板閥、三通閥  ①算機控制系統(tǒng)實現(xiàn)工作一深度加權(quán)刻蝕的離子束刻蝕設(shè)備,要用計算機控制  復(fù)合直空計及供水系統(tǒng)正常工作  系統(tǒng),深度加權(quán)的刻蝕深度按照預(yù)先給定的曲線分布進行,由于離子束的強度是恒定的,離  子的位置也是固定的,而工件臺相對于離子源作一維平移,所以控制工件的刻蝕深度即轉(zhuǎn)  計算機TRS80先按給定的數(shù)據(jù)模型計算出對應(yīng)于工件每個位置所需的刻蝕時間,并存  化為控制工件在各個不同位置的刻蝕時間  入內(nèi)存;然后控制步進電動機使工件臺作一維方向的平移,每移動一定的距離,停留某一預(yù)
在刻蝕過程中,用計算機控制,主要實現(xiàn)以下幾個功能:n.控制刻蝕時間;b.控制工  定時間  件臺平移;c控快門開、關(guān);d.巡檢束流。即當(dāng)配電系統(tǒng)的各種故障引起束流不正常時,  希望保留現(xiàn)場,計算機處于暫停狀態(tài),待故障排除后繼續(xù)進行刻蝕:c.控制步進電動機能正、反轉(zhuǎn)進行雙向刻蝕  ⑤工件臺電源系統(tǒng)工件臺電源是兩臺可調(diào)穩(wěn)壓電源。調(diào)控板使用同一塊印刷電路板  它通過一個雙聯(lián)乒乓開關(guān)轉(zhuǎn)換,供給多軸工作臺或三維工作臺使用。三維工作臺的電源電壓  可高達30V,功率大。多軸工作臺有停轉(zhuǎn)現(xiàn)象發(fā)生時,可瞬時轉(zhuǎn)換給三維工作臺電源進行沖  擊,促使其電機轉(zhuǎn)動,三維工作臺有停轉(zhuǎn)現(xiàn)象時,可再調(diào)高其電源電壓,促使轉(zhuǎn)動。工作臺電源若有故障,電動機不轉(zhuǎn)時,有報警音響報警。  化整機控制系統(tǒng)離子束刻蝕設(shè)備整機自動化是設(shè)備發(fā)展的方向LSK3型機實現(xiàn)
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