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   超高真空校準  超高真空計是超高真空全壓力測量的重要工具，為了得到準確的測量結(jié)果，必  須對真空計進行校準以保證在超高真空條件下應用的可靠性。此外，對于冷陰極電  離規(guī)的非線性，盡管生產(chǎn)廠家作了線性處理，但如果不進行校準仍會帶來很大誤  差。熱陰極電離規(guī)在線性測量范圍內(nèi)要達到測量精度也需要進行校準。校準是在專  門的超高/極高真空校準系統(tǒng)中進行的。目前采用的校準系統(tǒng)有：分子束法校準系  統(tǒng)、壓力衰減法校準系統(tǒng)、流導調(diào)制法校準系統(tǒng)和分流法校準系統(tǒng)。  圖4-12所示為采用分流法和壓力衰減法的極高/超高真空校準裝置，包括：極  高真空系統(tǒng)、超高真空系統(tǒng)、流量分流系統(tǒng)和供氣系統(tǒng)。分流法是將已知流量氣體  引入分流室，通過分流室兩個流導相差很大的小孔(流導比約為100:1)分流到  極高真空校準室和超高真空校準室。在動態(tài)條件下極高真空校準室的壓力p為：

4-10)  p=QC(1-R)(1+Rc)  式中Q引人分流室氣體流量，Pa·m/  Rn極高真空系統(tǒng)抽氣限制孔返流  C-—極高真空系統(tǒng)抽氣限制孔流導，m3/s;  Rc—分流室分流小孔流導比(流入超高真空室小孔流導和流入極高真空室  小孔流導之比)

 
式中的各參數(shù)R、C、Rc均可以通過實驗精確測量，Q可以由精密微流量計  給出。利用校準室壓力可以對被校準規(guī)進行絕對校準  在沒有流量計的條件下，可以向分流室充入一定壓力氣體，通過小孔向極高真  空校準系統(tǒng)充氣，動態(tài)平衡后極高真空校準壓力被衰減為  p=pC1/C(l-Rp

(4-11)  式中p動態(tài)平衡時分流室壓力(標準壓力規(guī)測量),Pa;  分流室流向校準室小孔流導，m3/s;  該校準裝置的主要技術指標為：校準室極限壓力，極高真空校準室為7.9  10-0Pa,超高真空校準室為2.3×10-9Pa;校準壓力范圍，分流法2.1×10  7.9×1010Pa,壓力法2.1×10-4~2.3×10-9Pa;不確定度小于0.41%~3.5%  利用該裝置對反磁控冷陰極計和熱陰極超高真空計進行校準給出修正系數(shù)和系數(shù)  壓力曲線。校準時間約為7天(包括規(guī)連續(xù)校準2天時間)。  為了滿足常用的超高真空電離計的校準要求，通常采用比對的相對校準方法  該方法具有校準裝置結(jié)構簡單、操作方便、校準效率高和實用性強等特點。比對法  超高真空校準裝置如圖4-13所示，校準系統(tǒng)采用圓柱形結(jié)構，由抽氣室和校準室  組成，兩室之間采用一個圓孔限制流導。被校規(guī)和參考規(guī)分別安裝在校準室赤道線  的對稱位置上。參考規(guī)選用IE514分離規(guī)，該規(guī)在極高/超高真空校準裝置上進行  壓力絕對校準，不確定度1.8%。比對校準系統(tǒng)的技術指標為：校準系統(tǒng)極限壓力  5×10-9Pa、壓力校準范圍10-7~10-5Pa、擴展不確定度≤10%(k=3)。

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