真空設(shè)備設(shè)計過程中需要注意哪些細(xì)節(jié)事項？真空設(shè)備制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究報告闡述了世界真空設(shè)備制造產(chǎn)業(yè)的發(fā)展歷程，分析了中國真空設(shè)備制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀與差距，開創(chuàng)性地提出了"新型真空設(shè)備制造產(chǎn)業(yè)" 及替代品產(chǎn)業(yè)概念，在此基礎(chǔ)上，從四個維度即"以人為本"、"科技創(chuàng)新"、"環(huán)境友好"和"面向未來"準(zhǔn)確地界定了"新型真空設(shè)備制造產(chǎn)業(yè)" 及替代產(chǎn)品的內(nèi)涵。

根據(jù)"新型真空設(shè)備制造產(chǎn)業(yè)" 及替代品的評價體系和量化指標(biāo)體系，從全新的角度對中國真空設(shè)備制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展進(jìn)行了推演和精準(zhǔn)預(yù)測，在此基礎(chǔ)上，對中國的行政區(qū)劃和四大都市圈的真空設(shè)備制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展進(jìn)行了全面的研究。

真空設(shè)備設(shè)計中的注意事項如下：

(1)根據(jù)設(shè)備的工藝要求，確定真空設(shè)備的總的最大允許漏率。并依據(jù)這一總漏率確定各組成部件的最大允許漏率。

(2)根據(jù)設(shè)備的最大允許漏率等指標(biāo)，在設(shè)計階段就初步確定將要采用的檢漏方法。并作為指導(dǎo)設(shè)備設(shè)計、加工、調(diào)試、驗收的基本原則之一。

(3)根據(jù)設(shè)備或部件的最大允許漏率指標(biāo)，決定設(shè)備的密封、連接方式和總體加工精度。如法蘭采用金屬密封或橡膠密封，以及何種動密封形式能夠滿足要求。

(4)容器結(jié)構(gòu)強度設(shè)計時，考慮如果采用加壓法檢漏時要求被檢件所應(yīng)具有的耐壓能力和結(jié)構(gòu)強度。

(5)選擇零部件結(jié)構(gòu)材料時，考慮是否使用了可能被工作介質(zhì)和示漏氣體腐蝕而導(dǎo)致?lián)p壞的材料。

(6)結(jié)構(gòu)設(shè)計時，在容器或系統(tǒng)上要留有必要的檢漏儀器備用接口，以便在設(shè)備組裝、調(diào)試過程中檢漏使用。尤其是大型、復(fù)雜的管路系統(tǒng)，通常需要采用分段檢漏方法，因此在管路上要設(shè)置分段隔離的閥門，并在每一隔離段上預(yù)留檢漏儀器接口。

(7)零件結(jié)構(gòu)設(shè)計時，盡量避免采用可能干擾檢漏工作的設(shè)計方案。例如在真空室內(nèi)螺釘孔不能采用盲孔形式，因為安裝螺釘后螺孔內(nèi)部剩余空間的氣體只能通過螺紋間隙逸出，形成虛漏，從而延長系統(tǒng)抽氣時間，干擾檢漏正常進(jìn)行。

(8)與此類似，結(jié)構(gòu)設(shè)計中不允許存在連續(xù)雙面焊縫和多層密封圈結(jié)構(gòu)，因為這會在中間形成“寄生容積”。當(dāng)只有內(nèi)側(cè)焊縫或密封圈有漏孔時，“寄生容積”內(nèi)的氣體會形成虛漏;而當(dāng)內(nèi)、外雙側(cè)焊縫或密封圈同時泄漏時，“寄生容積”使示漏氣體穿越雙層焊縫的響應(yīng)時間過長，無法正常檢漏。

(9)焊接結(jié)構(gòu)設(shè)計時，盡量減少總裝后用檢漏儀無法檢漏的焊縫。