分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。分子泵在使用過程中可能會出現(xiàn)一些故障問題，讓操作人員束手無策。下面，和大家分享分子泵各種常見故障的維修方法。

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　　1、分子泵為何會發(fā)生半邊熱，半邊冷的現(xiàn)象?

　　原因：附近有光照或其他熱源。

　　分子泵維修方法：避免光照或熱源。

　　2、分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑，請問油為什么發(fā)黑?或者多長時間油才會變黑?

　　原因：冷卻不良，負載太大。

　　維修方法：檢查冷卻系統(tǒng)，檢查真空系統(tǒng)。

　　3、分子泵在運轉(zhuǎn)過程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此,請問該現(xiàn)象如何解釋?

　　原因：負載太大，系統(tǒng)真空度不夠。

　　分子泵維修方法：檢查系統(tǒng)。

　　4、分子泵軸承為什么會燒毀?

　　原因：①缺乏定期維護;②冷卻不良導(dǎo)致過熱;③沒有及時換油;④抽除的氣體中含有大量粉塵。

　　維修方法：①及時維護;②檢查冷卻系統(tǒng);③及時換油;④隔離粉塵。

　　5、有防護網(wǎng)保護,為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內(nèi)?

　　原因：防護網(wǎng)破裂，前級管道破裂。

　　維修方法：優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計。

　　6、真空度很好的情況下，分子泵油為何會返到前級管道?

　　原因：油池破裂或密封不良。

　　分子泵維修方法：檢查油池。

　　7、正常使用下，為什么分子泵油池會出現(xiàn)裂紋或者變形?

　　原因：過熱，負載大。

　　維修方法：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng)。

　　8、分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w，如M5的頂絲等，請問是否對分子泵的使用有影響?應(yīng)如何解決?

　　原因：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。

　　維修方法：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。