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 擴(kuò)散泵油的工作溫度大都在200℃以上,擴(kuò)散泵工作時(shí),每一次蒸發(fā)冷凝循  環(huán)中總會(huì)有一些大分子裂解成較小的輕餾分,雖然在真空條件下加熱,也總會(huì)有
些分子被氧化,這些裂化、氧化的有害產(chǎn)物,如果不  能及時(shí)排除,長(zhǎng)期積累下去,泵液的性能將逐漸變  壞。為了清除這些有害物,近代超高真空油擴(kuò)散泵的  加熱鍋爐都帶有分餾裝置。

     規(guī)管中氣體再釋放對(duì)真空測(cè)量的影響  規(guī)管中氣體再釋放對(duì)真空測(cè)量的影響主要有以下兩種形式  (1)氣體的熱解吸對(duì)真空測(cè)量的影響。在熱陰極電離真空計(jì)規(guī)管中,高溫?zé)彡帢O本身就是  種氣源。它的高溫?zé)崃枯椛涞狡渌姌O和規(guī)管壁上時(shí),將引起氣體的熱解吸,此外,棚極接  收電子收集極收集離子,也會(huì)因發(fā)熱使氣體解吸。

作蒸汽的品質(zhì)對(duì)噴射泵的實(shí)際抽氣性能影響較大。蒸汽噴射泵使用的工作蒸汽為飽和或  稍過(guò)熱。為保證蒸汽系統(tǒng)的供熱質(zhì)量,使抽氣系統(tǒng)正常有效地工作,供氣系統(tǒng)根據(jù)需要設(shè)置以  下裝置  (1)蒸汽減溫或過(guò)熱裝置。對(duì)于熱網(wǎng)供熱(過(guò)熱度大于100℃),蒸汽需降溫使用,因此  在供氣管網(wǎng)上要增設(shè)蒸汽自動(dòng)減溫裝置。對(duì)于自備鍋爐供氣,為保證工作蒸汽具有一定的過(guò)熱  度,需在鍋爐供氣管路上安裝過(guò)熱器  (2)汽水分離器。

在高真空區(qū)域內(nèi),當(dāng)真空設(shè)備內(nèi)材料的出氣可以忽略時(shí),真空室的抽氣時(shí)間計(jì)算與低真空抽氣時(shí)間計(jì)算相同,由于高真空泵抽速較大,這段時(shí)間很短。實(shí)際上高真空的抽氣時(shí)間主要取決于材料出氣
在剛開(kāi)始抽氣的幾十小時(shí)內(nèi),材料出氣率是變量,因而真空室的總出氣量隨抽氣時(shí)間而  衰減。計(jì)算到達(dá)某一壓力所需的時(shí)間由總出氣量和泵(或機(jī)組)的有效抽速的比值決定般可用查材料出氣率曲線和繪圖方法進(jìn)行計(jì)算

射離子泵的放電單元中,從第一個(gè)電子到繁流電子密度達(dá)到(約1010個(gè)電
子/cm3)穩(wěn)態(tài)值的時(shí)間r,稱為啟動(dòng)時(shí)間,它是濺射離子泵的一個(gè)重要參數(shù)。啟動(dòng)  時(shí)間的長(zhǎng)短取決于啟動(dòng)壓力,在10-1Pa下,放電單元的啟動(dòng)時(shí)間為幾納秒,壓力  在10-Pa下的啟動(dòng)時(shí)間將長(zhǎng)達(dá)5008,覆射離子泵的放電特性見(jiàn)圖241,因此,圓  射離子泵的啟動(dòng)壓力不能太高,也不能過(guò)低,濺射離子泵啟動(dòng)困難的原因有以下