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 超高真空氣體成分分析及分壓力測量對真空質(zhì)諧計的要求  超高真空分壓力測量是通過真空質(zhì)譜計實現(xiàn)的。為了滿足超高真空氣體成分分  析及分壓力測量要求,對常用的真空質(zhì)譜計的選擇、安裝及使用提出如下特  ①為了在超高真空或極高真空條件下,能夠檢測到微量的氣體組分,選用的  真空質(zhì)譜計必須具有足夠高的檢測靈敏度,質(zhì)譜計的最小可檢分壓力技術(shù)指標應(yīng)小  于10-10Pa,為了提高檢測靈敏度,通常選用帶倍增器離子收集的質(zhì)譜計;質(zhì)譜計  的質(zhì)量范圍在1~100或1~50u就夠了。在1~4u輕質(zhì)量范圍內(nèi),儀器應(yīng)具有較  好的輕質(zhì)量測量特性  ②質(zhì)譜計的離子源最好選用開式離子源并便于電子轟擊出氣,以減小“記憶  效應(yīng)”。

   (1)旋片泵的運行及維護  ①泵的啟動、停泵通常旋片泵由三相交流電機驅(qū)動,要特別注意電源線的連接,以  保證旋片方向的正確,否則,泵油將被排到真空室。因此,泵應(yīng)設(shè)置反向制動以防止泵的反  轉(zhuǎn)。當電源線接錯時,泵不能啟動。為防止電機燒壞,還應(yīng)設(shè)置過載開關(guān),通常為溫控  開關(guān)。

①單級單作用液環(huán),所謂單級是指只有一個葉輪,單作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周,吸  1)基本類型
氣、排氣各進行一次,這種泵的極限壓力較低,抽速和效率也低  ②單級雙作用液環(huán)泵,單級是指只有一個葉輪,而雙級作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周,吸  氣、排氣各進行兩次,在相同抽速條件下,雙作用泵比單作用泵可大大減小尺寸和質(zhì)量。由  于工作腔對稱分布在輪轂兩側(cè),這樣就改善了作用在轉(zhuǎn)子上的載荷。但是,這種泵有些零件  比較復(fù)雜,加工較圖難,但它的抽速較大,效率較高,極限壓力也較高  ③雙級液環(huán)泵,雙級液環(huán)泵大多數(shù)是由單作用泵串聯(lián)而成。

  低溫泵長期運轉(zhuǎn)達到飽和容量時,抽速急劇下降,這時就需要停泵升溫,使吸  附在低溫板上的氣體釋放出來,恢復(fù)原來的抽氣性能。升溫并用預(yù)抽泵抽除釋放出  冷凝吸附的氣體稱為“再生”.再生方式有兩種,全部再生(20K和7K低溫板升至室溫,釋放出低溫板吸附的全部氣體)和部分再生(僅放出77K低溫板吸附的氣體)
全部再生法有下面幾種方式。

工作壓力選擇得愈接近極限真空,真空抽氣設(shè)  真  濟效率愈低,從經(jīng)濟方面考慮,最好在主泵的最大抽速或最大排氣量附近選擇工作壓  力。一般工作壓力多半選擇在高于極限壓力半個到一個數(shù)量級。  需要注意的是:工作壓力的確定要考慮抽氣時間的問題。