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圖777給出了羅茨轉(zhuǎn)子加爪式轉(zhuǎn)子的四級(jí)泵和全為爪式轉(zhuǎn)子的四級(jí)泵的性能曲線。二者抽速最大值對(duì)應(yīng)的入口壓力值不同。二者的極限壓力相差不大,均在1Pa以下。羅茨加爪式轉(zhuǎn)子組成的四級(jí)泵,其抽氣性能較好,由圖
7-77可以看出:在入口壓力為1~100Pa之間和103~105Pa之間,羅茨加爪式轉(zhuǎn)子的四級(jí)泵抽  氣性能優(yōu)于全爪式轉(zhuǎn)子的四級(jí)泵。只當(dāng)入口壓力為102~10Pa之間,全爪式轉(zhuǎn)子的四級(jí)泵的  抽氣性能較好

渦輪分子泵是一組帶葉片的分子透平機(jī),通過(guò)高速電機(jī)帶動(dòng)葉片高速旋轉(zhuǎn),將  動(dòng)量傳遞給氣體分子,壓縮氣體實(shí)現(xiàn)抽氣。轉(zhuǎn)子速度一般在10000~60000/m  由固體電源或電動(dòng)發(fā)電機(jī)組驅(qū)動(dòng)。由于單組葉片對(duì)氣體的壓縮比太小,所以需要  多級(jí)葉片串聯(lián)起來(lái),在各級(jí)動(dòng)片之間交替開(kāi)槽安裝固定葉片。大型泵,交替排列的  動(dòng)片和定片一般有10~20組,間隙為1mm左右(大型泵為2~3mm)。為了提  的抽氣性能,靠近高真空進(jìn)氣口的幾級(jí)葉片與接近排氣口幾級(jí)葉片形狀不同,排

電極引線裝置的真空密封由于多采用橡膠密封圈,因此對(duì)大電流、高溫處應(yīng)加水冷,  以防止溫度過(guò)高而破壞真空橡膠圈,影響真空室的真空度  ②真空密封應(yīng)可靠。導(dǎo)電紫銅棒應(yīng)當(dāng)要求有較高的精度和較小的表面粗糙度,并且在  裝配時(shí)應(yīng)涂以真空油脂  ③輸電線的直徑應(yīng)適當(dāng),不應(yīng)使電流密度過(guò)大,以防輸電線過(guò)熱

擴(kuò)散泵的臨界前級(jí)壓力是指擴(kuò)散泵排氣口允許的最高前級(jí)壓力。高于臨界前級(jí)  壓力時(shí),返流反擴(kuò)散增加,泵的抽速降低,達(dá)到最大前級(jí)壓力時(shí),會(huì)完全破壞泵的  正常工作。擴(kuò)散泵的臨界前級(jí)壓力一般在26~40Pa,最大達(dá)到100Pa

氟橡膠密封超高真空法蘭  上述的金屬密封的超高真空法蘭對(duì)于需要頻繁放入大氣更換工件的超高真空系  統(tǒng),每次重新拆裝容器法蘭由于刀口壓痕的不重合或刀口受到損傷,難以確?？煽?nbsp; 地密封,特別是使用一次性密封的金屬墊圈,在每次打開(kāi)容器時(shí),都需要更換新的  法蘭密封圈,鋁箔密封的法蘭,在高溫烘烤時(shí)往往會(huì)因擴(kuò)散焊而黏附在不銹鋼法蘭