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      任何材料的新鮮表面能夠不斷地吸附氣體,直到飽和為止,這種吸附現(xiàn)象可根  據(jù)作用力的形式分為物理吸附和化學(xué)吸附。物理吸附是由范德瓦耳斯力產(chǎn)生,類(lèi)似  于氣體的液化,最低的吸附能量E稱為吸附熱(在數(shù)值上等于分子脫離表面時(shí)必  須克服的位壘高度E),一般在10kcal/mol(1kcal=4.18kJ)以下,吸附是可逆  的,氣-固分子間不會(huì)出現(xiàn)電子轉(zhuǎn)移或波函數(shù)的重疊等現(xiàn)象 

將真空系統(tǒng)的壓力降低到一定壓力(例如降到基礎(chǔ)壓力)所需要的時(shí)間,稱之為抽氣時(shí)  間。抽氣時(shí)間在真空裝置的真空系統(tǒng)中由于它直接關(guān)聯(lián)到極限壓力、工作壓力性能的好壞問(wèn)  題,因此,不論是任何真空裝置在設(shè)計(jì)、研制的過(guò)程中,都把抽氣時(shí)問(wèn)作為裝置的主要性能  指標(biāo)提出來(lái),以此作為驗(yàn)收真空裝置主要技術(shù)性能之一。

將氣體分子解離成離子,并在電場(chǎng)中加速,以一定的能量打在吸氣材料上用以  抽除氣體分子的泵稱為離子泵。普通的熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)都有抽氣作  用,1937年潘寧( Penning)首先觀察到受磁場(chǎng)約束的直流放電具有更為明顯的抽  氣作用,由于這種抽氣效應(yīng)很小,沒(méi)有引起人們的注意,直到1958年霍爾(Hl)  把幾個(gè)陽(yáng)極小筒并聯(lián)起來(lái),做成第一臺(tái)有商業(yè)價(jià)值的濺射離子泵  濺射離子泵屬于清潔超高真空泵,沒(méi)有任何油蒸氣污染。

離子束刻蝕機(jī)由真空室、工作臺(tái)、快門(mén)、真空抽氣系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、電源和  電器系統(tǒng)等主要部分組成,圖1-1所示為離子束刻蝕機(jī)的工作原理圖。該機(jī)在正常工作  時(shí),首先將真空室的壓力抽至2×10-3Pa或更低,再調(diào)節(jié)Ar氣流量,使真空室壓力保持  在1×10-2~2×10-2Pa(如需要輔助氣體,如O2、CH2等,則可按一定比例與之混合),  然后啟動(dòng)離子源各電源,使離子源正常工作,從離子源引出一定能量和密度的離子束  被中和器發(fā)射的電子中和后,轟擊工件進(jìn)行濺射刻蝕。

    當(dāng)泵的吸氣量為零時(shí),此時(shí),泵入口的壓力值稱為極限壓力,通?；y式往復(fù)泵真空度較  高,固定閥的往復(fù)泵真空度較低。這里以固定環(huán)狀閥立式往復(fù)泵為例,討論影響真空度的因素和解決辦法
A、排氣閥的阻力損失
吸、排氣閥的阻力損失愈小,則泵的耗能小、溫升小,可提高相對(duì)容積系數(shù)Av,降低泵的極限壓力。