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      (1)按控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)分  ①開(kāi)環(huán)控制系統(tǒng)。是指系統(tǒng)的輸出量對(duì)系統(tǒng)的控制作用沒(méi)有影響的系統(tǒng),其原理如
6-1所示。例如:真空泵的控制即為這類系統(tǒng)。開(kāi)環(huán)控制的缺點(diǎn)是控制過(guò)程受到各種擾動(dòng)因  素影響時(shí),將會(huì)直接影響輸出量,而控制系統(tǒng)能自動(dòng)補(bǔ)償。  ②閉環(huán)控制系統(tǒng)。若系統(tǒng)能夠?qū)Ρ豢刂茖?duì)象的輸出信號(hào)(被控制量)進(jìn)行連續(xù)測(cè)量,  并通過(guò)反饋環(huán)節(jié)反饋到控制裝置輸入端,與輸入信號(hào)(給定值)進(jìn)行比較,形成偏差信號(hào)。 

擴(kuò)散泵的加熱功率對(duì)泵的極限壓強(qiáng)、抽氣速率、前級(jí)耐壓和抽氣量等性能參數(shù)  影響較大。圖2-17給出了這些影響數(shù)據(jù)曲線  般說(shuō)來(lái),油溫、前級(jí)極限壓力、抽氣量都隨著加熱功率的增加而增加,但過(guò)  高的加熱功率反而使抽速降低,這是因?yàn)檫^(guò)高的蒸氣分子密度降低了入射氣體分子  的擴(kuò)散系數(shù)和蒸氣流邊層湍流效應(yīng)的增加以及油的熱裂解等原因造成的。

爪式泵有高的容積效率  和內(nèi)壓縮,轉(zhuǎn)子可高速無(wú)接觸的運(yùn)轉(zhuǎn),是實(shí)現(xiàn)干式抽氣較好的抽氣機(jī)構(gòu),但它也需要多級(jí)串聯(lián)  方能達(dá)到所需的極限壓力  爪式轉(zhuǎn)子除能壓縮氣體之外,還有轉(zhuǎn)子自行開(kāi)閉的閥門作用,即可周期地開(kāi)閉泵腔的入口  和出口。由于有內(nèi)壓縮和這種閥門作用,可實(shí)現(xiàn)高的壓縮比和高的容積效率。在功率消耗低的  情況下有較高的抽速。被抽氣體的種類對(duì)壓縮比的影響較小。轉(zhuǎn)子與泵體之間的間隙較大,小  顆粒物很容易被抽除。這種抽氣原理的干式泵,目前我國(guó)已有多家生產(chǎn)  圖7-78所示為全爪式轉(zhuǎn)子的四級(jí)泵的結(jié)構(gòu)示意圖。

 在真空技術(shù)研究中,通過(guò)對(duì)超高真空系統(tǒng)內(nèi)殘余氣體主要成分分析,可以判斷  系統(tǒng)是否漏氣、漏率數(shù)值大小、是否存在由于材料選擇不當(dāng)而造成材料出氣、主要  氣體來(lái)源等,以便正確選擇抽氣手段和工藝,提高系統(tǒng)的極限壓力  殘余氣體譜獲得的最簡(jiǎn)單方法是將質(zhì)譜計(jì)探頭安裝在真空系統(tǒng)適當(dāng)位置,當(dāng)真  空系統(tǒng)的壓力滿足質(zhì)譜計(jì)工作條件要求時(shí),利用模擬掃描模式(或棒掃描模式)在  儀器的工作質(zhì)量范圍內(nèi),選擇適當(dāng)?shù)膮?shù)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行全譜掃描,記錄系統(tǒng)殘余氣體  的全譜圖

對(duì)各種真空泵的性能,都有規(guī)定的測(cè)試方法來(lái)檢驗(yàn)其性能的優(yōu)劣。真空泵的主要性能有  (1)真空泵的技術(shù)術(shù)語(yǔ)  極限壓力、流量及抽氣速率等。除外,對(duì)蒸氣流泵而言,還有啟動(dòng)壓力、何氏系數(shù)等名詞術(shù)  語(yǔ)來(lái)表達(dá)泵的有關(guān)性能和參數(shù)。  ①極限壓力( ultimate pressure of a pump)  真空與準(zhǔn)試驗(yàn)罩檢測(cè)容器相連:并按規(guī)定的條件工作,在不引人氣體正常工  作的情況下,趨向穩(wěn)定的最低壓力。