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      渦旋式真空泵(簡稱渦旋泵)是近年來開發(fā)出的一種新型干式真空泵。它具有如下優(yōu)點  (1)間隙小、泄漏少,具有較高的壓縮比,在較寬的壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速;  (2)結(jié)構(gòu)簡單,零部件少;  (3)工作壓力范圍寬,由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的,因而驅(qū)動扭矩變化小,功率變  化小;  (4)振動噪聲小,可靠性高  由于其性能優(yōu)越,渦旋泵作為一種新型的無油泵在國內(nèi)、外真空行業(yè)內(nèi)越來越引起人們的  重視。近來,人們對渦旋式壓縮機的研究越來越多。

 

    泵油的返流定義為泵液及其裂解物遷移到真空室的現(xiàn)象。單位時間、單位泵口  面積上返流到被抽容器中泵油的質(zhì)量,稱為泵的返油率,單位為mg/(min:cm2)。  泵油的返流,不僅影響到泵的極限壓力,凝結(jié)和爬移的油還會對真空室及器件造成
嚴重的污染。一些不希望油蒸氣污染的真空系統(tǒng)  把返油率作為擴散泵的重要指標。實驗證實,油蒸  氣的返流途徑,大致可歸納為如圖2-3中所示的五

   爪式泵是為半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展而研制的,它有如下一些特點  (1)泵腔內(nèi)無潤滑劑,因而無返油現(xiàn)象發(fā)生  (2)抽氣元件為非接觸式的,可實現(xiàn)高速運轉(zhuǎn)(3000r/min)  (3)與被抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損  (4)在泵腔內(nèi)氣流垂直運動,少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除  (5)該泵形式多樣,功能可以  包  擴展,泵的主體,帶有齒輪、馬達  以及氣體凈化設(shè)備,附件有入口處  防返流的閥門,出口處有截流閥
電氣監(jiān)控及報警裝置  (6)齒輪和泵軸的下軸承用FFE  油潤滑、上端蓋內(nèi)的軸承用PPE油

      超高真空與高真空系統(tǒng)設(shè)計有不少相同之處,主要有:管道的流導(dǎo)計算,殼體強度計  算,主泵抽速計算及泵之間匹配選擇,真空元件的清潔處理及檢漏等  超高真空與高真空系統(tǒng)設(shè)計也有許多不同之處:選擇真空泵的方法不同,對材料要求不  同,采用了烘烤措施,焊接結(jié)構(gòu)和方法不同,對漏率控制更為嚴格  (1)材料選擇  金屬材料都是通過熔煉和鑄造得到的,在此過程中,空氣中的氫、氧、氮和氧化物不同  程度地溶于材料之中。

    為了滿足以平導(dǎo)體、電子工業(yè)為代表的最工藝對無川  4.6多級羅  式真空  獲得設(shè)備得以開  發(fā)及廣泛應(yīng)  F式羅真空泵以其抽速大、對工作條件要  較寬松等優(yōu)點在干泵市場中占有重要的地位  而在于式羅茨泵當(dāng)中,則是以多級羅茨空  為主  美日等真空技術(shù)比較發(fā)達的  出多級羅茨泵的系列產(chǎn)品,見圖
應(yīng)用于半導(dǎo)體及化工工業(yè)  所謂“多級”是相對于傳統(tǒng)意義上的“單  級”羅茨泵而言的,即在轉(zhuǎn)子軸上串聯(lián)多級羅  茨型轉(zhuǎn)子(如圖了65所示為五級轉(zhuǎn)子單聯(lián)的