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真空泵 指的是真空系統(tǒng)的主泵,空載干燥的  真空容器(即真空室)內(nèi)不放有工作狀態(tài)的元器件,而且真空容器內(nèi)的環(huán)境是干燥的空氣或  氣體,它是在主泵經(jīng)過相當時間的抽氣而使真空容器逐漸接近的穩(wěn)定的最低壓力值。顯然易  見,真空系統(tǒng)所達到的極限壓力是不受時間限制的,真空裝置的極限壓力越低,標志著該裝  置的真空系統(tǒng)設(shè)計是合理的,主泵的選擇比較理想,是衡量真空裝置技術(shù)水平是否先進的條  件之一。

由于在真空容器器壁兩側(cè)的氣體總是存在壓力差,所以任  何種類的器壁材料總要或多或少  地滲透一些氣體,氣體從密度大的一側(cè)向密度小的一側(cè)滲入擴散、通過和逸出固體阻擋層的
過程稱為滲透、該情況下的穩(wěn)態(tài)流率稱為滲透率  滲透率與氣體和材料的種類有關(guān),在真空工程領(lǐng)域中所用的金屬、玻璃、橡膠及塑料等對氣體來說或多或少都可以滲透。

機組的主泵或主泵進氣口以上部分能承受200~450℃高溫烘烤。  此外,應當考慮抽氣機組的一次性投資、運轉(zhuǎn)維修費用、機組長期連續(xù)運轉(zhuǎn)可靠性、壽  命以及操作運轉(zhuǎn)難易程度等?，F(xiàn)代可做超高真空主泵的泵種有油擴散泵、渦輪分子泵、濺射  離子泵、低溫泵以及鈦泵、分子篩泵和非蒸發(fā)型吸氣劑泵等。它們都有其各自的獨特優(yōu)點,  可根據(jù)實驗或工藝的特殊要求進行泵的搭配和選擇  (1)擴散泵抽氣機組  用擴散泵獲得超高真空,最有效的方法是在擴散泵抽氣口上增加至少兩次光學密閉的液  氮冷阱,或分子篩吸附阱,并要求對系統(tǒng)進行嚴格、規(guī)范的高溫烘烤技術(shù),其極限壓力可以  獲得10-8Pa的超高真空。 

真空泵是真空裝置獲得直空的重要部件,它是產(chǎn)生、改善和維持直空的裝置,基本上分為氣體傳輸泵和氣體抽集泵兩種類型,前者包括容積真空泵和動量傳輸泵等,容積真空泵利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣,氣體在排氣前被壓縮,這類泵有往復式(如臥式、立式往復泵)、旋轉(zhuǎn)式(如水環(huán)泵、旋片泵、滑閥泵)兩種;

分子真空泵(簡稱分子泵)是1913年德國人蓋得(W. Gaede)首先發(fā)明的.他又以氣體的外摩擦作用為分子泵奠定了理論基礎(chǔ)  然分子泵是一種機械泵、但它已擺脫了那種靠容積變化來抽氣的容積泵原理,而是靠高  速運動的剛體表面來攜帶氣體分子實現(xiàn)抽氣的一種新型機械直空泵,通常把用高速剛體表面  帶氣體分子按一定方向運動的現(xiàn)象稱為分子牽引,或稱為氣體的外摩擦輸運現(xiàn)象。