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我們在真空泵維修的時候要需要弄清楚真空泵油路的來龍去脈，以及油位的調(diào)節(jié)系統(tǒng)，以E2M80為例，油箱內(nèi)的油通過端蓋油孔通往泵浦，側(cè)面端蓋和腔體面之間有個調(diào)節(jié)針閥。如果油路調(diào)節(jié)不當(dāng)時，就會影響真空泵度的升降。要是泵浦之間的裝配配件間隙控制合適，供油量過大就會使真空度下降，要是軸和套間隙大一點，

在熱陰極電離規(guī)的結(jié)構(gòu)  中,約150V電壓加速的電子碰撞到幫極上,柵極將產(chǎn)生軟X射線,其波長不短于  100A(1A-10-1m).軟X射線照射到離子收集極時,將導(dǎo)致收集極發(fā)射光電子,  其效果等效于收集很收集到離子流Ix,Ix實際上是和壓力無關(guān)的虛假的離子流  (以區(qū)別于反映和壓力有關(guān)的真實離子流),因此在測量電路上測量到的離子流包括  實際離子流l和虛假離子流Ix兩部分,顯然Ix限制了熱陰極電離規(guī)的測量下限  x和加速電壓V、電子電流以及離子收集極受X射線的照射面積P有如下  關(guān)系

低溫泵的抽速  2.4.4.1低溫板冷凝氣體的理論抽速  低溫泵的抽速,可根據(jù)氣體分子運動理論計算。條件是真空室容器內(nèi)處于熱平  衡狀態(tài),也就是說,只適用于低溫板面積比真空容器表面積小的情況下。對于大型  設(shè)備(例如環(huán)模設(shè)備),通常把低溫板放在真空室內(nèi),把低溫板做得比容器的表面  大,這種狀態(tài)破壞了熱力學(xué)平衡。下面僅討論處于熱平衡狀態(tài)下低溫泵的理論  低溫板溫度為T,低溫板單位面積的理論抽速S等于空間氣體分子在低溫板單  位面積上冷凝而減少的體積與時間之比。若氣體分子全部冷凝在低溫板上(冷凝系

    往復(fù)泵工作環(huán)境要保持清潔、干燥,溫度變化不大。冬天環(huán)境溫度如果低于5℃,停車  將冷卻水套里的水放出,以免溫度降到0℃時凍裂泵體。往復(fù)泵只能抽清潔干燥的空  氣,往復(fù)泵的典型結(jié)構(gòu)如圖42所示。往復(fù)泵在啟動時應(yīng)檢查其旋轉(zhuǎn)方向是否正確。運轉(zhuǎn)  100h后,須檢查活塞環(huán)、導(dǎo)軌、氣閥、軸承、十字頭及密封圈等摩擦部分的易損件,如有  磨損,應(yīng)及時修復(fù)或更換  當(dāng)往復(fù)泵運轉(zhuǎn)2500h后,一般應(yīng)拆開檢修一次。泵拆開后,用清潔汽油或丙酮清洗零  件,修理或更換已損壞零件。