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  20K的低溫表面黏的活性炭能有效地冷凝吸附氫、氖  氣容量很小,需要抽除大量氮?dú)獾牡蜏乇?應(yīng)該使用4.2K的液氮低溫泵,不能用  氣氮低溫泵,液氮低溫泵還具有無(wú)振動(dòng),無(wú)磁場(chǎng)的突出優(yōu)點(diǎn),可用于與化學(xué)分析電  子能儀或二次離子質(zhì)諧儀一類的靈敏的表面分析設(shè)備。氣體制冷機(jī)低溫泵的活塞  運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的輕微振動(dòng)會(huì)影響這種設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn),因此,用氣體制冷機(jī)時(shí),必須采
當(dāng)代小型劇冷機(jī)低溫泵的應(yīng)用,日益受到重視,這是由于它具有以下突出 

分子泵的前級(jí)泵大小的要求卻和擴(kuò)散泵不  同。擴(kuò)散泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)要求前級(jí)泵具有足夠大的抽速,在最大排氣量時(shí)確保前級(jí)壓強(qiáng)低于擴(kuò)  散泵臨界前級(jí)壓力。渦輪分子泵則要求選擇具有足夠容量的前級(jí)泵,使最靠近前級(jí)管道的葉  片在最大排氣量時(shí)處于分子流或者正好處于過(guò)渡流。大多數(shù)分子泵的最大穩(wěn)態(tài)進(jìn)氣口壓力 

 溫度對(duì)真空測(cè)量  的色直空規(guī)管實(shí)際使用溫度與出廠校準(zhǔn)溫度不相同,規(guī)管溫度與被測(cè)系統(tǒng)溫度不同,被測(cè)系  溫度不均勻或變化,均會(huì)引起被測(cè)系統(tǒng)中氣體溫度變化,影響真空測(cè)量結(jié)果,引進(jìn)測(cè)量誤差  至發(fā)生明顯錯(cuò)誤。設(shè)規(guī)管出廠校準(zhǔn)時(shí)的溫度為T(mén)。(一般為293K),規(guī)管現(xiàn)場(chǎng)使用溫度為T(mén)1  (單位為K),規(guī)管的讀數(shù)壓力值為pm(單位為Pa),對(duì)應(yīng)氣體的真實(shí)壓力和氣體分子數(shù)密度  分別為戶和m(單位為m-3),此時(shí)被測(cè)真空系統(tǒng)中的溫度為T(mén)2,氣體壓力和分子密度為p  和n。

  全無(wú)油抽氣系統(tǒng),濺射離子泵是最常見(jiàn)一種,它與前面介紹的幾種抽氣系統(tǒng)最
大的區(qū)別是除了粗抽階段之外,正常運(yùn)轉(zhuǎn)期間,被抽氣體沒(méi)有排到大氣中去,而是  貯存在泵內(nèi)的鈦膜中。操作簡(jiǎn)便、無(wú)振動(dòng)噪聲、無(wú)重碳?xì)浠衔镂廴?若粗抽時(shí)采  用吸附泵或無(wú)油機(jī)械泵,不存在粗抽泵的污染問(wèn)題,工作時(shí)無(wú)需前級(jí)泵,在超高真  空條件下甚至不需要夜間值班人員就能長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),因而廣泛用于潔凈的小型超  高真空裝置中

   低溫泵的抽速曲線與一般真空泵抽速曲線不同,低溫泵在高壓力區(qū)的抽速大于在低壓力區(qū)  域的抽速,低溫泵冷凝吸附不同的氣體時(shí),其抽速特性曲線是不同的,而且實(shí)測(cè)表明其不同溫  度下的吸附等溫線也不同,趨勢(shì)類似,但斜率不同。

圖910是 Dawson和 Haygood測(cè)得的室溫下  CO2在77K低溫冷面上凝結(jié)的典型抽速曲線,可  對(duì)其解釋如下  三
開(kāi)始抽氣時(shí),泵人口壓力較高,氣流量超過(guò)  泵的低溫冷凝能力,而且由于氣體的熱傳導(dǎo)和對(duì)  流傳熱效應(yīng)較強(qiáng),使冷凝層表面溫度上升,吸附  幾率(凝結(jié)系數(shù))較低,并且非凝結(jié)性氣體在冷  10